半导体行业超纯水系统应用案例

项目概况

客户位于内江东兴区，为满足半导体生产环节对超高纯度水的严苛要求，由重庆净业环保设备有限公司设计生产、内江物格环保设备经营部负责施工，建设了一套产水规模为500L/H的电子级超纯水系统。

系统工艺与设计

设备采用先进的多级净化组合工艺：双级反渗透（RO）进行初步脱盐与净化，后续通过电去离子（EDI）实现连续深度脱盐，再结合SMB系统进一步去除痕量离子。终端集成紫外（UV）杀菌、微滤（MF）与超滤（UF）装置，全面保障水质无菌与极低TOC水平，有效防止微粒及微生物污染。

运行效果

系统出水水质稳定可靠，在线电阻率持续达到18.2MΩ·cm，完全符合半导体电子级超纯水标准，满足芯片制造、清洗及高精度工艺用水需求。

项目意义

该项目结合了重庆净业环保领先的设备制造技术与内江物格环保本地化专业施工优势，实现了从设计、安装到调试的一体化服务，为西南地区半导体及相关高科技产业提供了可靠的高纯水解决方案，助力客户提升产品品质与生产效能。