电子级超纯水标准设备厂家

净心
2026-01-16
来源:电子级超纯水设备

重庆净业环保公司生产的符合电子级超纯水标准的超净水设备,指标如下:由净业环保公司生产,内江物格公司安装调试。联系:13922921599

水质标准

符合 SEMI F63-0301 电子级超纯水标准

电阻率≥18.2MΩ・cm@25℃,TOC≤1ppb,

≥0.05μm 颗粒≤1 个 /mL,

金属离子≤0.01ppb适配水质

北京海淀自来水(总硬度 180-280mg/L,TDS 200-320mg/L)

设计产水量10m³/h(满足中试线 + 研发中心多用水点同时供水)

一、系统整体架构

预处理系统→ 双级 RO 反渗透 → EDI 深度除盐 → 抛光混床 → 后处理系统(UV + 终端过滤 + 氮气保护)→ 超纯水箱 + 分配系统

半导体外延DI水设备.png半导体超纯水设备.png


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