重庆净业环保公司生产的符合电子级超纯水标准的超净水设备,指标如下:由净业环保公司生产,内江物格公司安装调试。联系:13922921599
水质标准:
符合 SEMI F63-0301 电子级超纯水标准
电阻率≥18.2MΩ・cm@25℃,TOC≤1ppb,
≥0.05μm 颗粒≤1 个 /mL,
金属离子≤0.01ppb适配水质:
北京海淀自来水(总硬度 180-280mg/L,TDS 200-320mg/L)
设计产水量:10m³/h(满足中试线 + 研发中心多用水点同时供水)
预处理系统→ 双级 RO 反渗透 → EDI 深度除盐 → 抛光混床 → 后处理系统(UV + 终端过滤 + 氮气保护)→ 超纯水箱 + 分配系统

